水环式真空泵需要用液体作为作业的介质。工作液体在某一温度下有对应的饱和蒸汽压。当吸气区域的真空压力越接近工作液体的饱和蒸汽压时，该区域的液环内表面会气化产生大批的气泡。当吸入区域的压力达成工作液的饱和蒸汽压时就会达到沸腾状，吸气腔内则全部充满了工作液的蒸汽，此时泵对外的吸气能力接近于零，而此时泵的汽蚀现象也是很严重的。

　　在泵发生气蚀时，气泡在低压区陆续产生。随着水环式真空泵叶轮的转动，夹在相邻两个叶片之间的气泡进入到压缩与排出区域时，又会骤然破裂。气泡破裂形成的空穴使得周围的液体高速流向空穴内而形成局部高频的水锤。伴随剧烈的水击就会产生噪声和振动。以至于可以听到像爆豆似的劈劈啪啪的动静。

　　假设上述气泡在金属表面上破裂，金属表面将遭到连续剧烈的水击后出现麻点，金属晶粒松动并掉落而成蜂窝状，甚至穿孔。

　　水环式真空泵的气蚀损坏和离心式水泵的气蚀损坏原理是一样的，都是在气泡发生和破裂的部位，金属表面出现点蚀现象，严重的会出现蜂窝状损坏。如果真空泵叶轮在气蚀部位有较大的残余压力，还会致使叶轮发生裂纹。气蚀损坏除机械效果外，还伴随有电解、化学腐蚀等多种效果。实际损坏情况表明，泵过流部件气蚀损坏的部位恰是气泡破裂的部位。
　　液环真空泵在气蚀状态下长时间工作，会造成泵的噪声、振动变大，乃至对泵造成损坏，因而应尽量防止水环式真空泵在气蚀状态下工作，可经过以下措施来防止气蚀的发生。
　　在液环真空泵工作压力点为固定值的前提下，降低工作液的温度后作业液的饱和蒸气压会随着温度的降低而降低，当工作液的饱和蒸气压低于泵的工作压力一定程度时就可以达到避免气蚀的效果。如果吸入气体温度过高，气体在与泵内液体接触时，压缩热以及气体本身的热量都会传递到液体中，从而使液环温度升高，也就是使泵腔内液体的饱和蒸汽压升高。相反，降低吸入气体温度可以降低液环温度，从而降低泵腔内液体的饱和蒸汽压。同理，当吸入的气体是饱和蒸汽时要比是吸入干空气时要更容易产生气蚀。
　　工作液作为水环式真空泵的工作介质，同时也能带走泵内气体压缩产生的热量起到冷却作用。充足的工作液供液量可以降低工作液的温升，较低的液环温度就有较低的饱和蒸气压，就能避开气蚀产生的条件。所以当设计工作液为闭环的机组时为保障充足的供液量，工作液管道的长度不能太长、尺寸不能太小，选择冷却器的管阻也不能太大。工作液管道堵塞时也要及时疏通清洗。